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洁净室工程规划有必要满意生产工艺的环境要求

发布日期:2021-08-04 作者: 点击:

一般情况下,洁净室工程净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室,尤其是半导体工业洁净室而言,其负荷特点是:由于排风量大造成新风量大,故新风处理所需冷量耗费大;送风量大,输送动力耗费大,风机管道温升高;生产设备的发热量大,耗费冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70~95。因而,净化空调系统节能办法应从削减新风量(削减排风量);操控送风量(合理确定换气次数);充分利用回风量;挑选低阻力的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。 

洁净室工程是为生产工艺服务的,洁净室规划有必要满意生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因而,在洁净室规划时生产工艺对环境参数的要求应该脚踏实地,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运转的前提下尽可能地降低参数要求,操控净化面积,缩小高净化级别洁净区的规模,严格操控100级和更别单向流洁净区的面积。 在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间安置在一起,把洁净度要求高的工序设置在优势侧,把产生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若有必要放在洁净区内时应尽量采取密闭办法以削减粉尘和废气的排放量。

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当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。

(2) 削减涡流,避免把作业区以外的污染物带入作业区。

(3) 为了避免尘埃的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在作业区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀安置回风口。

(4) 作业区的气流应均匀,流速有必要满意工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把作业部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。

(5) 作业设备安置时要留有一定的间隔,为送、回风口的安置和气流的晓畅创造条件:气流组织规划时要考虑巨大设备对气流组织的影响。

(6) 洁净作业台不宜安置在层流洁净室内。当安置在乱流洁净室时,宜将其置于作业区气流的优势侧,以进步室内的空气洁净度。

(7) 洁净室内有通风柜时,宜置于作业区气流的劣势侧,以削减对室内的污染。

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