净化工程特别电子工业用的洁净厂房都有严厉的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严厉的要求，而且对温度和相对湿度的波动规模也有严厉的要求。因而，在净化空调体系的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿（由于夏季室外空气是高温、高湿的），冬天要加热加湿由于冬天室外空气是寒冷枯燥的，室内湿度过低会发生静电，静电对电子产品的出产是致命的。关于净化空调体系的加湿问题而言，常用的加湿办法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿办法属等焓加湿进程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿办法属等温加湿进程。

从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿办法其操控的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时好不选用。而选用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的办法。喷干蒸汽的加湿办法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽功率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因而，挑选干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的功率。有的厂家给出的喷蒸功率为70%。

各种不同的加湿器的应用规模不同：如：淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器，其特点是加湿量大、投资费用低，而相对湿度操控精度较差，因而多用于相对湿度要求不严厉（> ±10%），加湿量很大的工业厂房和一般舒适用空调房间的空调体系加湿。而相对湿度操控精度高的干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严厉的恒温恒湿洁净室的空调体系加湿中。关于以微生物为操控对象的生物洁净室（例如：生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物养殖室等）其要点要操控微生物的发生和传播，由于潮湿和水分是微生物繁殖和繁殖的条件，因而水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等办法不能用在生物洁净室中，只能选用干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿。

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